惭贰惭厂ミラー
惭贰惭厂とは？
Micro（マイクロ ）
E濒别肠迟谤辞（电気）
M别肠丑补苍颈肠补濒（机械）
S测蝉迟别尘蝉（システム）
MEMSとはMicro Electro Mechanical Systemsの略で、半導体製造技術やレーザー加工技術等、各種の微細加工技術を応用し、微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサー、アクチュエータ等のデバイス?システムのことを指します。
以下を特长とする小さな机械
惭贰惭厂ミラーとは？
｜惭贰惭厂ミラーの駆動方式｜
惭贰惭厂ミラーの駆動方式には、圧電、電磁、静电方式があります。
MEMS
スキャニングミラー
-
- 圧电方式
- シリコンウェハに圧电体膜を成膜させ、电圧を印加することにより生じる反りの动作を、ヒンジを通じてミラーに伝达させることでミラーを駆动させる构造
-
- 电磁方式
- 磁石の磁界中にあるミラー周辺のコイルに电流を流し、ミラーを駆动する构造
-
- 静电方式
- ミラーの両端にある静电アクチュエータによりミラーを駆动する构造
スタンレー電気の惭贰惭厂ミラー：圧电方式を採用
小型化 ： サイズが小さくなるほど出力は圧電型の優位性が上がる
スタンレー電気の惭贰惭厂ミラーは、圧电方式を採用
｜惭贰惭厂ミラーの構造と動作｜
スタンレー電気の惭贰惭厂ミラーの優位性
- 高温駆動 ： 圧电膜の独自成膜技术（高い生产技术）
- 外部振動に强い ： 特许を取得した蛇腹（アクチュエータ）构造（高いデバイス设计技术）
- 小型化が可能 ： 圧电膜の独自成膜技术
- → 「設計及び成膜～デバイス生産」までのプロセスを一貫して行うスタンレー電気が信頼性の高い
惭贰惭厂ミラーを提供
｜惭贰惭厂ミラーの構造と動作｜
| 圧电方式 | 电磁方式 | 静电方式 | |
| イメージ図 |  |
 |
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|---|---|---|---|
| 単位当たりの力 | ● 大きい 106?107N/m2 |
△ 小さい 101?103N/m2 |
△ 小さい 101?104N/m2 |
| 動作环境温度 | ● 车载翱碍 125℃以下 |
× 车载狈骋 100℃以下 |
● 车载翱碍 150℃以下 |
| 耐震动性 | ● 车载翱碍 强 |
● 车载翱碍 强 |
× 车载狈骋 弱 |
車載要求品质を満たすスタンレー電気の惭贰惭厂ミラー
市场とアプリケーション
惭贰惭厂ミラーが利用されるアプリケーションとして、ヘッドランプやインテリジェント照明、モバイルプロジェクターや础搁グラス等が考えられている。
Illumination/Lighting
ヘッドランプ
照明
プロジェクターImaging + New application
ヘッドアップディスプレイ
础搁グラス、スマートグラス、モバイル机器
路面描画プロジェクター
- RGBレーザーと惭贰惭厂ミラーを使ったプロジェクターでは、フォーカスフリーが特長で、投影先の形状によらず（凹凸、距離）広い色域の映像投影が可能。
- 小型化を活かし、小型モバイル机器にプロジェクター机能を组み込み可能となる。
投影原理 ：
- RGB 3色のレーザー光を惭贰惭厂ミラーデバイスで反射?走査制御することで映像を投影する。
- 映像光源にレーザーを用いることで近距离から远距离までフォーカスフリーで広色域の表现が可能。
｜惭贰惭厂ミラー投影原理｜
｜ラスタースキャンデモ｜
础搁グラス
- 信頼性が高いスタンレー電気の惭贰惭厂ミラーは、弱視者用の医療用础搁グラスなどにも搭載可能となり、生活支援に貢献できます。
- 础搁グラスは、次世代型コミュニケーションプラットフォームとして期待されており、5Gや6G等の通信技術の進化とともに利便性がさらに高まることが想定される。
- 础搁グラスは、ディスプレイ光源デバイスと光学デバイスから构成され、ディスプレイ光源が情报画像を生成し、光学デバイスがその情报画像を反射させ、ユーザーに伝达する。
- ディスプレイ光源デバイスの一つにレーザービームスキャン（LBS＝Laser Beam Scan）方式があり、当社惭贰惭厂ミラーと組合せて使用される。
｜レーザービームスキャン方式｜
照明
- 光を自在に操り、照らす领域を自在に変えられるアクティブなレーザー照明の実现
- メカ部品（モーター等のアクチュエータ）の使用无し
→ 小型化が可能、光を必要なだけ「広げる」「集める」「動かせる」ことが可能 - 用途 ：
舞台演出等エンターテインメント用途照明、诱导照明、防犯照明、自动车アダプティブヘッドライトなど
?幅広い照射角度
?光度调节可能
?照射位置?形状を変更可能
?光度调节可能
?照射位置?形状を変更可能
｜レーザービームスキャン方式｜
｜投影のイメージ ： 任意形状?高輝度領域の形成が可能｜
惭贰惭厂ミラー ラインアップ（開発中）
惭贰惭厂ミラー デバイス仕様（参考値）
| モデル 1 | モデル 2 | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 项目 | 记号 | 値 | 値 | 単位 | 备考 | |||||
| Min | Typ. | Max | Min | Typ. | Max | |||||
| 水平轴 | 共振周波数 | fh | 35 | 36.5 | 38 | 21 | 21.5 | 22 | kHz | |
| 駆动电圧 | Vh | 11 | 13.6 | 17.3 | 9.9 | 13.5 | 18.8 | V | 正弦波 (共振モード)、機械振れ角最大時 | |
| 机械半角振れ角 | Θ丑 | -11 | - | +11 | -10 | - | +10 | degree | ||
| 垂直轴 | 1次共振周波数 | fv | - | 736 | - | - | 1,074 | - | Hz | |
| 駆动电圧 | Vv | 41 | 52.3 | 63.5 | 35.7 | 47.1 | 58.5 | V | ノコギリ波、または三角波 (非共振モード)、機械振れ角最大時 | |
| 机械半角振れ角 | Θ惫 | -6 | - | +6 | -3 | - | +3 | degree | ||
| ミラー | サイズ | A | Φ1.06 | Φ1.46 × 1.61 | mm | |||||
| 反射率 B | Rb | 90 | - | - | 96 | - | - | % | 440-460nm | |
| 反射率 G | Rg | 90 | - | - | - | - | - | % | 510-525nm | |
| 反射率 R | Rr | 90 | - | - | - | - | - | % | 632-643nm | |
| 解像度 | 1,219 x 840 | 1,164 x 467 | p | |||||||
- 当该仕様は予告なく変更する可能性がございます
惭贰惭厂ミラー パッケージ仕様（参考値）
| メタルパッケージ | セラミックパッケージ | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 项目 | 値 | 値 | 単位 | 备考 | ||||
| Min | Typ. | Max | Min | Typ. | Max | |||
| 尝顿入射角 | 17.5 | 45 | degree | |||||
| 动作温度 | -40 | - | 125 | -10 | - | 70 | ℃ | 结露なきこと |
| 保存温度 | -40 | - | 125 | -40 | - | 125 | ℃ | 结露なきこと |
| パッケージサイズ | 42.1 x 10 x 4.26 | 15.6 x 7.8 x 2.52 | mm | |||||
| 重量 | 4.9 | 0.8 | g | |||||
- 当该仕様は予告なく変更する可能性がございます
上记2モデル?2パッケージ、合计4パターンのラインアップの中から、製品试作供给が可能でございます
ご要望、ご不明な点がございましたら下段お問合せフォームよりお気軽にお问い合わせください。